SEM掃描電鏡是一種用于放大并觀(guān)察物體表面結構的電子光學(xué)儀器。掃描電鏡由鏡筒、電子信號的收集和處理系統、電子信號的顯示和記錄系統、真空系統和電源系統等組成,具有放大倍數可調范圍寬、圖像分辨率高和景深大等特點(diǎn)。應用于生物、醫學(xué)、材料和化學(xué)等領(lǐng)域。
SEM掃描電鏡在使用時(shí)應需要以下事項:
1、將試樣置于載物臺墊片,調整粗/微調旋鈕進(jìn)行調焦,直到觀(guān)察到的圖像清晰為止;
2、調整載物臺位置,找到要觀(guān)察的視野,進(jìn)行分析;
3、掃描電鏡調焦時(shí)注意不要使物鏡碰到試樣,以免劃傷物鏡;
4、當載物臺墊片圓孔中心的位置遠離物鏡中心位置時(shí)不要切換物鏡,以免劃傷物鏡;
5、在做切換動(dòng)作時(shí),動(dòng)作要輕,要到位,關(guān)機時(shí)要將亮度調到??;
6、亮度調整切忌忽大忽小,也不要過(guò)亮,影響燈泡的使用壽命,同時(shí)也有損視力;
7、非專(zhuān)業(yè)人員不要調整顯微鏡照明系統(燈絲位置燈),以免影響成像質(zhì)量;
8、更換鹵素燈時(shí)要注意高溫,以免灼傷;注意不要用手直接接觸鹵素燈的玻璃體;
9、設備不使用時(shí)及時(shí)關(guān)掉電源。
SEM掃描電鏡可通過(guò)改變物鏡的透鏡系統人們可以直接放大物鏡的焦點(diǎn)的像,由此人們可以獲得電子衍射像,使用這個(gè)像可以分析樣本的晶體結構,在這種掃描電鏡中,圖像細節的對比度是由樣品的原子對電子束的散射形成的,由于電子需要穿過(guò)樣本,因此樣本必須薄。樣本的厚度可以從數納米到數微米不等。
原子量越高、電壓越低,樣本就必須越薄。樣品較薄或密度較低的部分,電子束散射較少,這樣就有較多的電子通過(guò)物鏡光欄,參與成像,在圖像中顯得較亮。反之,樣品中較厚或較密的部分,在圖像中則顯得較暗。如果樣品太厚或過(guò)密,則像的對比度就會(huì )惡化,甚至會(huì )因吸收電子束的能量而被損傷或破壞。