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簡(jiǎn)要描述:M系列光束筆尖陣列光刻系統:聚合物筆無(wú)掩模光刻納米制造系統(polymer pen lithography)聚合物筆納米無(wú)掩模光刻制造系統PPL, 使用可達160000筆尖的陣列,采用蘸筆光刻DPN的方式,將待沉積的材料(墨水)浸蘸在筆尖陣列上,筆尖可控的與基底表面接觸,從而在基底表面批量成型所需圖案,加工納米微米圖案無(wú)需光掩膜,且在平方厘米范圍內達到200納米以下的分辨率。
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M系列光束筆尖陣列光刻系統主要特點(diǎn):
- 高分辨率,可達低于100nm的分辨率;
- 高通量模式,可達160000針尖輸出制作結構;
- TERA-FAB M系列可制作厘米級材料尺寸;
- 無(wú)需掩模,即時(shí)性改變輸出機構,可廣泛適應軟質(zhì)和硬質(zhì)材料;
- 軟硬件友好,非專(zhuān)業(yè)人士可在幾小時(shí)培訓后,熟練使用。
A)一張4英寸的PPL陣列,有1100萬(wàn)支筆尖。
B)陣列內納米尺度彈性材料*的掃描電子顯微照片及內嵌圖像;
C)由PPL技術(shù)打印的多種蛋白示意圖。各針尖陣列蘸上不同的打印墨水(蛋白);
D)熒光光學(xué)顯微圖的結果,PPL合成了多路熒光標記蛋白的圖案。
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